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管式PECVD
  • 管式PECVD

哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解

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  • 産品簡介
  • 産品特點
  • 技術參數
  • 應用範圍
  PECVD 即等離子體增強化學氣相澱積設備,是利用高頻電源輝光放電産生哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解等離子體對化學氣相沈積過程施加影響的技術。電子和離子的密度達 109~1012個/cm3,平均電子能量可達1~10ev。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發和電離,促進反哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解應活性基團的生成,從而降低沈積溫度。PECVD 在 200℃~500℃範圍內成膜,遠小于其它 CVD 在 700℃~950℃範圍內成膜。由于在氨氣條件下,提高了活性基因的擴散能力,從而提高薄哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解膜的生長速度和均勻性。在沈積過程中,由于大量的氫存在,起到表面鈍化作用。 詳情1
  •   1、産能大,單片成本少
      采用Ф450mm管徑的反應腔,具有産能大、單片成本少、工藝性能佳的優點,單台4管設備156矽片的産能可達18哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解00片/小時(每管308片/批),同時兼容240片/批、280片/批的産能(整機産能相應按比例下降)。

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      2、自動化程度高
      全自動上下舟系統,一鍵全自動工藝,自動化哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解程度的提高增加了産品的重複性和一致性。
      3、高精度溫度控制
      采用自主研發、設計、制造的爐體,高精度五段哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解雙回路溫度控制系統,回溫速度快,控制精度均處于國內領先地位。
      4、業內領先的新型壓力控制系統

    (2)

      采用自主新研發的新型全自動精密閉環壓力控哈尔滨丝足馆,公交车上的骚妇,法国色情av图解制技術,壓力控制精度以及實時響應能力大幅提高30%,真空系統更加高效、穩定性提高,反應腔氣氛更加均勻。
  • 內容2
  •   1、成膜種類:    二氧化矽、氮化矽;
      2、裝片尺寸及裝片量:   156x156mm方片(308片/批);
      3、成膜均勻性    片內≤±3% 片間≤±3% 批間≤±2%(膜厚80nm左右,折射率大于2.04);
      4、爐膛有效內徑:  Ф475mm (石英管外徑Ф450mm);
      5、溫度控制範圍:    300~600℃;

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      6、恒溫區長度及精度:  ±2℃/1450mm(500℃);
      7、升溫時間:     RT→450℃≤40min;
      8、系統極限真空:       3Pa;
      9、工作壓力範圍和精度:     50 Pa~300±5Pa(閉環控制);
      10、氣密性:     漏率≤1×10-7pa.m3/s。
  • 參數
  •   目前在太陽電池行業主要用PECVD設備來澱積氮化矽減反射鈍化膜。
  • 範圍4
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